VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Si3N4/Si (10min conc HF:MeOH 2:50 cc) metal blue
1
90 toa
NORM
REGULAR
8
0
0
0
0
0
8
90 toa
Si3N4/Si (10min conc HF:MeOH 2:50 cc) metal blue
2003
5
10
14
52
32
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.73
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
2002
11
56944
0.0603073
0.288006
2762
0.288006
2688
0.287179
2733
0.286357
2754
0.285538
2731
0.284724
2705
0.283913
2770
0.283106
2776
0.282304
2704
0.281505
2747
0.28071
2748
0.279919
2716
0.279132
2893
0.278348
2915
0.277569
2889
0.276793
2962
0.276021
3106
0.275252
3166
0.274487
3327
0.273726
3449
0.272968
3441
0.272214
3273
0.271464
3178
0.270717
3032
0.269973
3119
0.269233
2940
0.268497
2968
0.267764
2969
0.267034
2751
0.266308
2888
0.265585
2776
0.264866
2732
0.26415
2682
0.263437
2596
0.262727
2721
0.262021
2628
0.261318
2566
0.260618
2686
0.259922
2679
0.259228
2723
0.258538
2618
0.257851
2691
0.257167
2549
0.256486
2724
0.255808
2812
0.255134
2657
0.254462
2775
0.253793
2698
0.253128
2705
0.252465
2738
0.251805
2785
0.251149
2753
0.250495
2740
0.249844
2721
0.249196
2799
0.248551
2875
0.247909
2846
0.247269
2723
0.246633
2827
0.245999
2969
0.245368
2865
0.24474
2893
0.244114
2858
0.243492
2948
0.242872
2914
0.242254
2867
0.24164
2990
0.241028
2849
0.240418
2866
0.239812
2890
0.239208
2803
0.238606
2917
0.238007
3078
0.237411
2923
0.236817
2974
0.236226
3024
0.235637
3059
0.235051
2959
0.234467
3050
0.233886
3012
0.233308
3047
0.232731
3012
0.232157
3018
0.231586
3086
0.231017
3093
0.23045
3101
0.229886
3175
0.229324
3146
0.228765
3080
0.228208
3133
0.227653
3172
0.2271
3148
0.22655
3205
0.226002
3150
0.225456
3143
0.224913
3147
0.224372
3217
0.223833
3276
0.223296
3276
0.222761
3191
0.222229
3246
0.221699
3218
0.221171
3285
0.220645
3403
0.220121
3466
0.219599
3262
0.21908
3353
0.218563
3334
0.218047
3286
0.217534
3375
0.217023
3369
0.216514
3463
0.216007
3334
0.215502
3457
0.214999
3377
0.214498
3496
0.213999
3437
0.213502
3417
0.213007
3591
0.212514
3540
0.212022
3498
0.211533
3537
0.211046
3549
0.210561
3671
0.210077
3595
0.209596
3649
0.209116
3661
0.208638
3674
0.208163
3696
0.207688
3628
0.207216
3597
0.206746
3549
0.206277
3774
0.205811
3758
0.205346
3730
0.204883
3863
0.204422
3851
0.203962
3906
0.203504
3932
0.203048
3928
0.202594
3966
0.202141
3869
0.201691
3953
0.201242
3956
0.200794
3824
0.200349
3876
0.199905
4016
0.199462
3873
0.199022
3931
0.198583
3978
0.198146
3995
0.19771
3994
0.197276
3939
0.196844
3889
0.196413
3965
0.195984
3994
0.195556
3945
0.19513
4060
0.194706
4086
0.194283
4089
0.193862
4176
0.193443
4198
0.193024
4384
0.192608
4306
0.192193
4631
0.19178
4769
0.191368
4696
0.190957
4554
0.190548
4283
0.190141
4291
0.189735
4162
0.189331
4086
0.188928
4076
0.188526
4072
0.188126
3939
0.187728
4053
0.18733
4131
0.186935
3995
0.18654
3988
0.186148
4003
0.185756
4070
0.185366
4164
0.184978
4247
0.18459
4154
0.184205
4146
0.18382
4197
0.183437
4180
0.183055
4238
0.182675
4316
0.182296
4190
0.181918
4319
0.181542
4243
0.181167
4369
0.180793
4147
0.180421
4374
0.18005
4331
0.17968
4365
0.179312
4377
0.178945
4348
0.178579
4306
0.178214
4242
0.177851
4317
0.177489
4323
0.177128
4426
0.176769
4384
0.176411
4461
0.176054
4394
0.175698
4392
0.175343
4537
0.17499
4421
0.174638
4580
0.174287
4489
0.173937
4516
0.173589
4470
0.173242
4486
0.172896
4672
0.172551
4729
0.172207
4553
0.171864
4572
0.171523
4618
0.171183
4591
0.170844
4713
0.170506
4591
0.170169
4577
0.169833
4603
0.169499
4694
0.169165
4591
0.168833
4791
0.168502
4703
0.168172
4729
0.167843
4748
0.167515
4828
0.167189
4837
0.166863
4787
0.166538
4808
0.166215
4695
0.165893
4836
0.165571
4946
0.165251
4865
0.164932
4922
0.164614
4947
0.164297
4921
0.163981
4827
0.163666
4976
0.163352
4948
0.163039
4921
0.162727
4972
0.162416
5032
0.162106
4978
0.161797
5064
0.161489
5018
0.161182
4996
0.160877
5095
0.160572
5099
0.160268
5105
0.159965
5209
0.159663
5191
0.159362
5018
0.159062
5113
0.158763
5065
0.158465
5291
0.158168
5225
0.157872
5291
0.157577
5211
0.157283
5152
0.156989
5228
0.156697
5260
0.156406
5270
0.156115
5260
0.155825
5219
0.155537
5404
0.155249
5380
0.154962
5257
0.154676
5448
0.154391
5474
0.154107
5385
0.153824
5465
0.153542
5439
0.15326
5552
0.15298
5460
0.1527
5531
0.152421
5585
0.152143
5490
0.151866
5609
0.15159
5575
0.151315
5705
0.15104
5535
0.150767
5638
0.150494
5624
0.150222
5675
0.149951
5624
0.149681
5669
0.149411
5643
0.149143
5416
0.148875
5644
0.148608
5650
0.148342
5652
0.148077
5635
0.147812
5761
0.147548
5578
0.147285
5640
0.147023
5611
0.146762
5612
0.146502
5667
0.146242
5583
0.145983
5759
0.145725
5568
0.145468
5868
0.145211
5954
0.144955
6651
0.1447
8288
0.144446
9544
0.144193
7691
0.14394
6585
0.143688
5935
0.143437
5680
0.143186
5853
0.142937
5722
0.142688
5769
0.142439
5754
0.142192
5758
0.141945
5758
0.141699
5784
0.141454
5842
0.141209
5684
0.140965
5851
0.140722
5904
0.14048
5831
0.140238
6033
0.139997
5776
0.139757
5960
0.139518
5969
0.139279
6019
0.139041
5997
0.138803
5999
0.138566
5994
0.13833
6032
0.138095
5932
0.13786
6117
0.137626
5953
0.137393
6097
0.13716
6136
0.136928
5981
0.136697
6038
0.136466
6150
0.136236
6045
0.136007
6134
0.135779
6164
0.135551
6192
0.135323
6183
0.135097
6365
0.134871
6315
0.134645
6195
0.13442
6178
0.134196
6238
0.133973
6253
0.13375
6290
0.133528
6363
0.133306
6454
0.133085
6311
0.132865
6438
0.132645
6478
0.132426
6371
0.132208
6440
0.13199
6488
0.131773
6575
0.131556
6540
0.13134
6459
0.131125
6395
0.13091
6571
0.130696
6630
0.130483
6578
0.13027
6552
0.130057
6567
0.129846
6686
0.129634
6596
0.129424
6683
0.129214
6688
0.129004
6694
0.128795
6647
0.128587
6743
0.12838
6780
0.128172
6779
0.127966
6694
0.12776
6567
0.127555
6735
0.12735
6727
0.127145
6989
0.126942
6904
0.126739
6792
0.126536
6866
0.126334
6888
0.126132
7018
0.125931
7022
0.125731
6798
0.125531
6847
0.125332
6922
0.125133
6999
0.124935
6948
0.124737
7027
0.12454
7063
0.124344
7108
0.124147
7136
0.123952
7163
0.123757
7145
0.123562
7243
0.123368
7304
0.123175
7262
0.122982
7249
0.12279
7322
0.122598
7087
0.122406
7314
0.122215
7341
0.122025
7539
0.121835
7296
0.121646
7435
0.121457
7457
0.121269
7500
0.121081
7567
0.120893
7516
0.120707
7463
0.12052
7504
0.120334
7481
0.120149
7631
0.119964
7689
0.11978
7666
0.119596
7683
0.119412
7578
0.119229
7841
0.119047
7749
0.118865
7740
0.118683
7705
0.118502
7584
0.118322
7701
0.118142
7770
0.117962
7975
0.117783
7878
0.117604
8002
0.117426
7942
0.117248
8171
0.117071
8100
0.116894
8142
0.116718
8328
0.116542
8216
0.116366
8082
0.116191
8195
0.116017
8067
0.115843
8124
0.115669
8170
0.115496
8306
0.115323
8209
0.115151
8152
0.114979
8264
0.114807
8037
0.114636
8113
0.114466
8173
0.114295
8127
0.114126
8141
0.113956
8189
0.113788
8262
0.113619
8035
0.113451
8310
0.113284
8600
0.113116
9475
0.11295
12591
0.112783
15665
0.112617
14092
0.112452
10483
0.112287
8935
0.112122
8558
0.111958
8492
0.111794
8362
0.111631
8330
0.111468
8333
0.111305
8299
0.111143
8361
0.110981
8377
0.11082
8344
0.110659
8255
0.110498
8486
0.110338
8482
0.110178
8371
0.110019
8468
0.10986
8428
0.109701
8512
0.109543
8479
0.109385
8753
0.109228
8545
0.109071
8534
0.108914
8489
0.108758
8754
0.108602
8571
0.108447
8781
0.108292
8780
0.108137
8810
0.107982
8841
0.107829
8815
0.107675
9006
0.107522
8656
0.107369
9003
0.107216
8784
0.107064
9142
0.106912
9033
0.106761
8972
0.10661
9083
0.106459
9246
0.106309
8975
0.106159
9289
0.10601
9200
0.105861
9022
0.105712
9318
0.105563
9253
0.105415
9447
0.105267
9232
0.10512
9353
0.104973
9412
0.104826
9236
0.10468
9457
0.104534
9330
0.104388
9423
0.104243
9372
0.104098
9348
0.103953
9563
0.103809
9632
0.103665
9554
0.103522
9579
0.103378
9662
0.103235
9663
0.103093
9760
0.102951
9779
0.102809
9803
0.102667
9635
0.102526
9859
0.102385
9648
0.102245
9804
0.102104
9881
0.101964
9894
0.101825
9840
0.101686
9891
0.101547
9935
0.101408
9790
0.10127
10078
0.101132
9960
0.100994
9957
0.100857
10330
0.10072
10003
0.100583
10197
0.100447
10302
0.100311
10225
0.100175
10197
0.10004
10392
0.0999048
10550
0.09977
10596
0.0996356
10562
0.0995014
10605
0.0993676
10710
0.099234
10450
0.0991008
10595
0.0989679
10322
0.0988353
10367
0.098703
10130
0.098571
9989
0.0984393
9968
0.0983079
10079
0.0981767
9981
0.0980459
9963
0.0979154
9994
0.0977852
10111
0.0976553
10116
0.0975257
10297
0.0973964
10246
0.0972674
10364
0.0971386
10776
0.0970102
11344
0.096882
11622
0.0967542
11986
0.0966266
12464
0.0964993
12618
0.0963723
12488
0.0962456
12039
0.0961192
11295
0.095993
10838
0.0958672
10032
0.0957416
9646
0.0956163
9189
0.0954913
8579
0.0953666
8061
0.0952421
7642
0.095118
7086
0.0949941
6670
0.0948704
6236
0.0947471
5990
0.094624
5581
0.0945012
5247
0.0943787
5010
0.0942564
4811
0.0941345
5107
0.0940128
6314
0.0938913
12558
0.0937701
38843
0.0936492
56944
0.0935286
29420
0.0934082
10663
0.0932881
6025
0.0931683
5062
0.0930487
4661
0.0929294
4511
0.0928103
4367
0.0926915
4235
0.092573
4300
0.0924547
4305
0.0923367
4258
0.092219
4081
0.0921015
4238
0.0919842
3953
0.0918672
4031
0.0917505
4188
0.091634
4191
0.0915178
4048
0.0914018
4035
0.0912861
4092
0.0911707
4059
0.0910554
4057
0.0909405
4015
0.0908257
4095
0.0907113
4133
0.090597
4171
0.0904831
4059
0.0903693
4134
0.0902558
4065
0.0901426
4269
0.0900296
4077
0.0899168
4025
0.0898043
4130
0.089692
4131
0.08958
4106
0.0894682
4283
0.0893567
4019
0.0892453
4164
0.0891343
4135
0.0890234
4138
0.0889128
4150
0.0888024
4105
0.0886923
4209
0.0885824
4208
0.0884727
4246
0.0883633
4219
0.0882541
4147
0.0881451
4341
0.0880364
4323
0.0879279
4389
0.0878196
4353
0.0877115
4281
0.0876037
4364
0.0874961
4342
0.0873887
4381
0.0872815
4389
0.0871746
4333
0.0870679
4530
0.0869614
4259
0.0868552
4226
0.0867492
4430
0.0866434
4369
0.0865378
4465
0.0864324
4319
0.0863272
4629
0.0862223
4468
0.0861176
4534
0.0860131
4588
0.0859088
4436
0.0858048
4667
0.0857009
4522
0.0855973
4548
0.0854939
4629
0.0853907
4628
0.0852877
4589
0.0851849
4841
0.0850824
4715
0.08498
4654
0.0848779
4673
0.0847759
4702
0.0846742
4668
0.0845727
4874
0.0844714
4698
0.0843703
4820
0.0842694
4681
0.0841688
4840
0.0840683
4873
0.083968
4701
0.0838679
4571
0.0837681
4891
0.0836684
4797
0.083569
4836
0.0834697
4866
0.0833707
4863
0.0832718
4882
0.0831732
4760
0.0830747
4878
0.0829765
4821
0.0828784
4763
0.0827806
4776
0.0826829
4732
0.0825855
4831
0.0824882
4873
0.0823912
4852
0.0822943
4809
0.0821976
4726
0.0821012
4812
0.0820049
4978
0.0819088
5365
0.0818129
5900
0.0817172
7197
0.0816217
10683
0.0815264
11213
0.0814312
7119
0.0813363
5059
0.0812415
4826
0.081147
4798
0.0810526
4701
0.0809584
4729
0.0808644
4684
0.0807706
4745
0.080677
4718
0.0805835
4815
0.0804903
4689
0.0803972
4795
0.0803043
4808
0.0802116
4888
0.0801191
4774
0.0800268
4959
0.0799346
4756
0.0798427
4821
0.0797509
4773
0.0796593
4736
0.0795678
4799
0.0794766
4755
0.0793855
4778
0.0792946
4917
0.0792039
4866
0.0791134
4967
0.079023
4869
0.0789329
4955
0.0788429
5016
0.078753
4868
0.0786634
4804
0.0785739
4969
0.0784846
4892
0.0783955
4978
0.0783065
4973
0.0782177
5100
0.0781291
5030
0.0780407
5058
0.0779524
4944
0.0778643
5062
0.0777764
5086
0.0776886
5133
0.0776011
5068
0.0775136
5081
0.0774264
5112
0.0773393
5190
0.0772524
5199
0.0771657
5103
0.0770791
5203
0.0769927
5198
0.0769064
5211
0.0768203
5208
0.0767344
5358
0.0766487
5195
0.0765631
5458
0.0764777
5359
0.0763924
5358
0.0763073
5540
0.0762224
5352
0.0761376
5342
0.076053
5447
0.0759685
5420
0.0758842
5419
0.0758001
5553
0.0757162
5391
0.0756323
5593
0.0755487
5453
0.0754652
5599
0.0753819
5437
0.0752987
5459
0.0752157
5536
0.0751328
5503
0.0750501
5579
0.0749675
5613
0.0748852
5804
0.0748029
5680
0.0747208
5612
0.0746389
5629
0.0745571
5812
0.0744755
5899
0.074394
5910
0.0743127
5868
0.0742315
5995
0.0741505
6159
0.0740697
6214
0.073989
6229
0.0739084
5974
0.073828
6131
0.0737477
6001
0.0736676
6053
0.0735877
5974
0.0735078
5970
0.0734282
5970
0.0733487
5986
0.0732693
6057
0.0731901
5892
0.073111
6055
0.0730321
6075
0.0729533
6206
0.0728746
6251
0.0727961
6236
0.0727178
6402
0.0726396
6504
0.0725615
6608
0.0724836
6975
0.0724059
7402
0.0723282
7335
0.0722507
7412
0.0721734
7494
0.0720962
7330
0.0720191
7126
0.0719422
6912
0.0718654
6629
0.0717888
6344
0.0717123
6053
0.0716359
5931
0.0715597
5876
0.0714836
5550
0.0714077
5228
0.0713319
5194
0.0712562
4912
0.0711807
4555
0.0711053
4464
0.07103
4463
0.0709549
4169
0.0708799
4241
0.0708051
4437
0.0707304
5239
0.0706558
7432
0.0705814
13929
0.0705071
23820
0.0704329
23665
0.0703588
14313
0.0702849
8212
0.0702112
6159
0.0701375
5078
0.070064
4374
0.0699906
3988
0.0699174
3937
0.0698443
3711
0.0697713
3590
0.0696984
3562
0.0696257
3618
0.0695531
3370
0.0694807
3380
0.0694083
3343
0.0693361
3219
0.0692641
3359
0.0691921
3255
0.0691203
3381
0.0690486
3340
0.068977
3544
0.0689056
3548
0.0688343
3683
0.0687631
3771
0.0686921
3893
0.0686211
4180
0.0685503
4429
0.0684796
4399
0.0684091
4303
0.0683386
4290
0.0682683
4093
0.0681982
3814
0.0681281
3465
0.0680582
3366
0.0679883
3094
0.0679187
2991
0.0678491
2635
0.0677796
2489
0.0677103
2374
0.0676411
2192
0.067572
1852
0.0675031
1714
0.0674342
1581
0.0673655
1283
0.0672969
1127
0.0672284
1026
0.0671601
966
0.0670918
1101
0.0670237
1960
0.0669557
7087
0.0668878
20296
0.06682
23465
0.0667524
10288
0.0666849
3228
0.0666174
1884
0.0665501
1415
0.066483
901
0.0664159
730
0.0663489
661
0.0662821
632
0.0662154
663
0.0661488
646
0.0660823
668
0.0660159
594
0.0659496
583
0.0658835
594
0.0658175
565
0.0657515
572
0.0656857
578
0.06562
577
0.0655545
559
0.065489
609
0.0654236
587
0.0653584
600
0.0652932
624
0.0652282
603
0.0651633
630
0.0650985
594
0.0650338
596
0.0649692
570
0.0649048
621
0.0648404
608
0.0647761
641
0.064712
613
0.064648
580
0.064584
586
0.0645202
641
0.0644565
606
0.0643929
607
0.0643294
688
0.064266
662
0.0642027
648
0.0641396
626
0.0640765
634
0.0640135
594
0.0639507
650
0.0638879
603
0.0638253
612
0.0637628
645
0.0637003
634
0.063638
633
0.0635758
653
0.0635136
665
0.0634516
639
0.0633897
698
0.0633279
682
0.0632662
638
0.0632046
725
0.0631431
753
0.0630817
700
0.0630204
707
0.0629592
795
0.0628981
803
0.0628371
686
0.0627762
673
0.0627155
668
0.0626548
637
0.0625942
698
0.0625337
680
0.0624733
671
0.062413
738
0.0623528
795
0.0622928
725
0.0622328
636
0.0621729
632
0.0621131
603
0.0620534
681
0.0619938
723
0.0619343
734
0.0618749
705
0.0618156
824
0.0617564
1053
0.0616973
1321
0.0616383
1621
0.0615794
1633
0.0615206
1157
0.0614619
631
0.0614032
375
0.0613447
354
0.0612863
450
0.0612279
781
0.0611697
1013
0.0611115
1027
0.0610535
824
0.0609955
757
0.0609377
692
0.0608799
612
0.0608222
459
0.0607647
363
0.0607072
288
0.0606498
161
0.0605925
72
0.0605353
42
0.0604781
17
0.0604211
22
0.0603642
11
0.0603073
90 toa
Si3N4/Si (10min conc HF:MeOH 2:50 cc) metal blue
2003
5
10
14
52
34
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.73
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
40
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
1002
2
1687
0.059744
0.0626548
741
0.0626548
698
0.0626487
715
0.0626426
674
0.0626366
694
0.0626305
669
0.0626245
715
0.0626184
709
0.0626124
706
0.0626063
667
0.0626002
698
0.0625942
661
0.0625881
700
0.0625821
689
0.062576
682
0.06257
673
0.0625639
676
0.0625579
720
0.0625518
668
0.0625458
644
0.0625397
673
0.0625337
711
0.0625277
652
0.0625216
715
0.0625156
640
0.0625095
728
0.0625035
675
0.0624975
644
0.0624914
671
0.0624854
712
0.0624793
680
0.0624733
712
0.0624673
718
0.0624612
662
0.0624552
673
0.0624492
701
0.0624432
695
0.0624371
689
0.0624311
692
0.0624251
721
0.0624191
659
0.062413
699
0.062407
674
0.062401
681
0.062395
712
0.0623889
652
0.0623829
690
0.0623769
720
0.0623709
768
0.0623649
763
0.0623589
720
0.0623528
669
0.0623468
719
0.0623408
757
0.0623348
753
0.0623288
782
0.0623228
757
0.0623168
741
0.0623108
769
0.0623048
753
0.0622988
786
0.0622928
757
0.0622868
745
0.0622807
758
0.0622747
772
0.0622687
726
0.0622627
755
0.0622568
761
0.0622508
799
0.0622448
727
0.0622388
742
0.0622328
743
0.0622268
739
0.0622208
722
0.0622148
717
0.0622088
743
0.0622028
668
0.0621968
686
0.0621908
694
0.0621848
662
0.0621789
725
0.0621729
694
0.0621669
656
0.0621609
612
0.0621549
674
0.062149
640
0.062143
651
0.062137
670
0.062131
632
0.062125
636
0.0621191
708
0.0621131
633
0.0621071
613
0.0621011
591
0.0620952
635
0.0620892
624
0.0620832
635
0.0620773
660
0.0620713
604
0.0620653
639
0.0620594
636
0.0620534
601
0.0620474
628
0.0620415
623
0.0620355
649
0.0620295
656
0.0620236
639
0.0620176
607
0.0620117
671
0.0620057
640
0.0619998
650
0.0619938
669
0.0619879
687
0.0619819
696
0.0619759
685
0.06197
680
0.061964
658
0.0619581
679
0.0619521
682
0.0619462
694
0.0619403
659
0.0619343
715
0.0619284
645
0.0619224
715
0.0619165
737
0.0619105
716
0.0619046
750
0.0618987
700
0.0618927
719
0.0618868
750
0.0618808
727
0.0618749
745
0.061869
768
0.061863
727
0.0618571
723
0.0618512
691
0.0618453
762
0.0618393
664
0.0618334
717
0.0618275
725
0.0618215
706
0.0618156
672
0.0618097
725
0.0618038
709
0.0617978
766
0.0617919
708
0.061786
748
0.0617801
770
0.0617742
750
0.0617682
769
0.0617623
755
0.0617564
748
0.0617505
781
0.0617446
808
0.0617387
818
0.0617328
860
0.0617268
844
0.0617209
895
0.061715
884
0.0617091
894
0.0617032
920
0.0616973
954
0.0616914
997
0.0616855
1062
0.0616796
1075
0.0616737
1105
0.0616678
1085
0.0616619
1155
0.061656
1207
0.0616501
1218
0.0616442
1159
0.0616383
1290
0.0616324
1259
0.0616265
1387
0.0616206
1336
0.0616147
1405
0.0616088
1402
0.0616029
1389
0.061597
1432
0.0615912
1507
0.0615853
1504
0.0615794
1455
0.0615735
1595
0.0615676
1565
0.0615617
1546
0.0615558
1597
0.06155
1615
0.0615441
1635
0.0615382
1604
0.0615323
1687
0.0615264
1633
0.0615206
1683
0.0615147
1567
0.0615088
1616
0.0615029
1526
0.0614971
1511
0.0614912
1504
0.0614853
1487
0.0614795
1425
0.0614736
1435
0.0614677
1410
0.0614619
1294
0.061456
1256
0.0614501
1238
0.0614443
1160
0.0614384
1056
0.0614325
1059
0.0614267
971
0.0614208
918
0.0614149
891
0.0614091
836
0.0614032
764
0.0613974
741
0.0613915
702
0.0613857
650
0.0613798
570
0.061374
562
0.0613681
545
0.0613622
458
0.0613564
459
0.0613506
429
0.0613447
469
0.0613389
390
0.061333
407
0.0613272
384
0.0613213
375
0.0613155
348
0.0613096
350
0.0613038
329
0.0612979
320
0.0612921
330
0.0612863
325
0.0612804
306
0.0612746
295
0.0612688
317
0.0612629
325
0.0612571
305
0.0612513
316
0.0612454
350
0.0612396
369
0.0612338
355
0.0612279
409
0.0612221
397
0.0612163
445
0.0612105
470
0.0612046
509
0.0611988
519
0.061193
562
0.0611872
631
0.0611813
595
0.0611755
674
0.0611697
736
0.0611639
746
0.0611581
806
0.0611522
802
0.0611464
909
0.0611406
936
0.0611348
918
0.061129
927
0.0611232
994
0.0611174
1050
0.0611115
991
0.0611057
1030
0.0610999
1032
0.0610941
1000
0.0610883
1042
0.0610825
1023
0.0610767
1045
0.0610709
999
0.0610651
946
0.0610593
984
0.0610535
967
0.0610477
961
0.0610419
922
0.0610361
911
0.0610303
949
0.0610245
877
0.0610187
867
0.0610129
851
0.0610071
829
0.0610013
840
0.0609955
846
0.0609897
840
0.060984
854
0.0609782
819
0.0609724
801
0.0609666
821
0.0609608
772
0.060955
741
0.0609492
763
0.0609435
769
0.0609377
765
0.0609319
728
0.0609261
762
0.0609203
787
0.0609146
747
0.0609088
704
0.060903
705
0.0608972
690
0.0608915
763
0.0608857
730
0.0608799
680
0.0608741
715
0.0608684
689
0.0608626
712
0.0608568
674
0.0608511
697
0.0608453
663
0.0608395
674
0.0608338
645
0.060828
631
0.0608222
684
0.0608165
643
0.0608107
654
0.0608049
570
0.0607992
541
0.0607934
623
0.0607877
559
0.0607819
516
0.0607762
544
0.0607704
531
0.0607647
531
0.0607589
494
0.0607531
497
0.0607474
465
0.0607416
486
0.0607359
461
0.0607301
453
0.0607244
481
0.0607187
419
0.0607129
448
0.0607072
353
0.0607014
373
0.0606957
367
0.0606899
360
0.0606842
328
0.0606785
351
0.0606727
354
0.060667
334
0.0606612
323
0.0606555
285
0.0606498
287
0.060644
325
0.0606383
289
0.0606326
299
0.0606268
259
0.0606211
271
0.0606154
213
0.0606096
248
0.0606039
209
0.0605982
194
0.0605925
186
0.0605867
193
0.060581
184
0.0605753
168
0.0605696
130
0.0605639
124
0.0605581
140
0.0605524
127
0.0605467
96
0.060541
91
0.0605353
101
0.0605295
77
0.0605238
68
0.0605181
60
0.0605124
60
0.0605067
64
0.060501
64
0.0604953
53
0.0604896
49
0.0604838
50
0.0604781
42
0.0604724
41
0.0604667
40
0.060461
32
0.0604553
36
0.0604496
35
0.0604439
36
0.0604382
34
0.0604325
32
0.0604268
31
0.0604211
23
0.0604154
26
0.0604097
29
0.060404
33
0.0603983
19
0.0603926
19
0.0603869
17
0.0603813
17
0.0603756
15
0.0603699
17
0.0603642
18
0.0603585
23
0.0603528
18
0.0603471
23
0.0603414
19
0.0603358
11
0.0603301
18
0.0603244
19
0.0603187
17
0.060313
12
0.0603073
12
0.0603017
18
0.060296
12
0.0602903
14
0.0602846
17
0.060279
11
0.0602733
15
0.0602676
10
0.0602619
11
0.0602563
11
0.0602506
10
0.0602449
22
0.0602393
15
0.0602336
19
0.0602279
10
0.0602223
8
0.0602166
8
0.0602109
9
0.0602053
10
0.0601996
13
0.0601939
14
0.0601883
12
0.0601826
8
0.060177
17
0.0601713
10
0.0601656
15
0.06016
16
0.0601543
8
0.0601487
9
0.060143
9
0.0601374
10
0.0601317
5
0.0601261
8
0.0601204
8
0.0601148
5
0.0601091
8
0.0601035
9
0.0600978
11
0.0600922
11
0.0600865
10
0.0600809
12
0.0600753
12
0.0600696
13
0.060064
8
0.0600583
2
0.0600527
5
0.0600471
6
0.0600414
11
0.0600358
8
0.0600302
5
0.0600245
8
0.0600189
8
0.0600133
2
0.0600076
13
0.060002
4
0.0599964
11
0.0599907
7
0.0599851
9
0.0599795
7
0.0599738
5
0.0599682
11
0.0599626
7
0.059957
6
0.0599514
10
0.0599457
9
0.0599401
4
0.0599345
9
0.0599289
13
0.0599233
6
0.0599176
10
0.059912
6
0.0599064
13
0.0599008
6
0.0598952
9
0.0598896
2
0.059884
4
0.0598783
10
0.0598727
5
0.0598671
6
0.0598615
6
0.0598559
6
0.0598503
5
0.0598447
8
0.0598391
4
0.0598335
8
0.0598279
6
0.0598223
9
0.0598167
12
0.0598111
8
0.0598055
9
0.0597999
5
0.0597943
8
0.0597887
9
0.0597831
4
0.0597775
7
0.0597719
6
0.0597663
7
0.0597607
5
0.0597551
2
0.0597495
6
0.059744
90 toa
Si3N4/Si (10min conc HF:MeOH 2:50 cc) metal blue
2003
5
10
14
52
34
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.02
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
298
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
0
1764
0.126345
0.128793
72
0.128793
116
0.128787
58
0.128781
167
0.128775
117
0.128768
38
0.128762
88
0.128756
113
0.12875
92
0.128744
103
0.128737
114
0.128731
129
0.128725
139
0.128719
112
0.128712
57
0.128706
120
0.1287
35
0.128694
103
0.128688
140
0.128681
69
0.128675
74
0.128669
102
0.128663
71
0.128656
121
0.12865
88
0.128644
56
0.128638
133
0.128632
99
0.128625
118
0.128619
88
0.128613
38
0.128607
94
0.1286
30
0.128594
80
0.128588
92
0.128582
116
0.128576
68
0.128569
80
0.128563
64
0.128557
113
0.128551
75
0.128545
45
0.128538
41
0.128532
80
0.128526
82
0.12852
119
0.128514
100
0.128507
139
0.128501
107
0.128495
113
0.128489
92
0.128483
58
0.128476
89
0.12847
154
0.128464
82
0.128458
71
0.128452
63
0.128445
88
0.128439
84
0.128433
74
0.128427
80
0.128421
87
0.128414
111
0.128408
83
0.128402
101
0.128396
50
0.12839
116
0.128383
121
0.128377
113
0.128371
74
0.128365
70
0.128359
68
0.128352
153
0.128346
112
0.12834
104
0.128334
117
0.128328
81
0.128321
90
0.128315
103
0.128309
88
0.128303
106
0.128297
101
0.128291
93
0.128284
94
0.128278
76
0.128272
80
0.128266
113
0.12826
120
0.128253
123
0.128247
68
0.128241
103
0.128235
95
0.128229
106
0.128223
131
0.128216
0
0.12821
65
0.128204
84
0.128198
83
0.128192
37
0.128185
54
0.128179
94
0.128173
102
0.128167
120
0.128161
74
0.128155
91
0.128148
93
0.128142
56
0.128136
85
0.12813
99
0.128124
79
0.128118
103
0.128111
177
0.128105
120
0.128099
110
0.128093
38
0.128087
121
0.128081
108
0.128074
110
0.128068
168
0.128062
69
0.128056
145
0.12805
129
0.128044
102
0.128037
120
0.128031
106
0.128025
134
0.128019
209
0.128013
154
0.128007
140
0.128
197
0.127994
190
0.127988
172
0.127982
163
0.127976
202
0.12797
144
0.127963
98
0.127957
207
0.127951
222
0.127945
115
0.127939
179
0.127933
196
0.127927
182
0.12792
139
0.127914
158
0.127908
177
0.127902
172
0.127896
218
0.12789
130
0.127884
206
0.127877
231
0.127871
167
0.127865
198
0.127859
190
0.127853
231
0.127847
139
0.12784
190
0.127834
211
0.127828
195
0.127822
227
0.127816
259
0.12781
206
0.127804
191
0.127797
224
0.127791
275
0.127785
264
0.127779
221
0.127773
234
0.127767
260
0.127761
264
0.127755
298
0.127748
281
0.127742
259
0.127736
325
0.12773
299
0.127724
368
0.127718
336
0.127712
396
0.127705
353
0.127699
433
0.127693
427
0.127687
375
0.127681
401
0.127675
416
0.127669
442
0.127663
481
0.127656
525
0.12765
447
0.127644
527
0.127638
501
0.127632
554
0.127626
473
0.12762
569
0.127614
587
0.127607
621
0.127601
626
0.127595
691
0.127589
731
0.127583
789
0.127577
739
0.127571
858
0.127565
882
0.127558
889
0.127552
991
0.127546
1000
0.12754
1065
0.127534
1205
0.127528
1156
0.127522
1297
0.127516
1386
0.127509
1416
0.127503
1442
0.127497
1487
0.127491
1518
0.127485
1602
0.127479
1647
0.127473
1680
0.127467
1708
0.127461
1755
0.127454
1683
0.127448
1730
0.127442
1764
0.127436
1723
0.12743
1726
0.127424
1637
0.127418
1632
0.127412
1526
0.127406
1553
0.127399
1475
0.127393
1317
0.127387
1282
0.127381
1238
0.127375
1129
0.127369
1230
0.127363
1027
0.127357
943
0.127351
920
0.127345
881
0.127338
825
0.127332
668
0.127326
678
0.12732
707
0.127314
621
0.127308
517
0.127302
554
0.127296
466
0.12729
461
0.127284
441
0.127277
431
0.127271
407
0.127265
303
0.127259
326
0.127253
328
0.127247
256
0.127241
265
0.127235
252
0.127229
239
0.127223
234
0.127217
193
0.12721
212
0.127204
193
0.127198
195
0.127192
165
0.127186
198
0.12718
181
0.127174
139
0.127168
126
0.127162
168
0.127156
134
0.12715
110
0.127144
100
0.127137
104
0.127131
143
0.127125
179
0.127119
123
0.127113
70
0.127107
77
0.127101
97
0.127095
41
0.127089
145
0.127083
65
0.127077
80
0.127071
152
0.127065
87
0.127058
63
0.127052
107
0.127046
128
0.12704
159
0.127034
94
0.127028
107
0.127022
25
0.127016
120
0.12701
112
0.127004
155
0.126998
109
0.126992
84
0.126986
116
0.12698
110
0.126973
95
0.126967
112
0.126961
84
0.126955
102
0.126949
37
0.126943
84
0.126937
106
0.126931
106
0.126925
69
0.126919
82
0.126913
153
0.126907
48
0.126901
99
0.126895
91
0.126889
106
0.126883
88
0.126876
90
0.12687
51
0.126864
21
0.126858
66
0.126852
58
0.126846
85
0.12684
76
0.126834
122
0.126828
114
0.126822
145
0.126816
45
0.12681
62
0.126804
61
0.126798
125
0.126792
105
0.126786
135
0.12678
111
0.126774
91
0.126768
50
0.126761
58
0.126755
131
0.126749
40
0.126743
167
0.126737
103
0.126731
77
0.126725
62
0.126719
73
0.126713
59
0.126707
51
0.126701
30
0.126695
117
0.126689
52
0.126683
80
0.126677
68
0.126671
113
0.126665
98
0.126659
94
0.126653
63
0.126647
68
0.126641
100
0.126635
124
0.126629
84
0.126622
64
0.126616
67
0.12661
100
0.126604
153
0.126598
58
0.126592
88
0.126586
60
0.12658
65
0.126574
59
0.126568
76
0.126562
96
0.126556
69
0.12655
111
0.126544
42
0.126538
89
0.126532
103
0.126526
53
0.12652
123
0.126514
96
0.126508
61
0.126502
131
0.126496
77
0.12649
96
0.126484
62
0.126478
122
0.126472
66
0.126466
81
0.12646
85
0.126454
108
0.126448
38
0.126442
67
0.126436
75
0.12643
99
0.126424
100
0.126418
39
0.126412
79
0.126406
64
0.1264
74
0.126394
57
0.126388
103
0.126381
127
0.126375
49
0.126369
131
0.126363
87
0.126357
90
0.126351
93
0.126345
90 toa
Si3N4/Si (10min conc HF:MeOH 2:50 cc) metal blue
2003
5
10
14
52
34
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.02
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
544
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
0
2136
0.164143
0.168154
85
0.168154
76
0.168144
91
0.168134
105
0.168124
108
0.168113
80
0.168103
52
0.168093
130
0.168083
108
0.168072
175
0.168062
67
0.168052
139
0.168042
101
0.168031
79
0.168021
43
0.168011
156
0.168001
49
0.16799
110
0.16798
154
0.16797
110
0.16796
81
0.167949
35
0.167939
122
0.167929
161
0.167919
77
0.167908
63
0.167898
63
0.167888
103
0.167878
103
0.167868
108
0.167857
56
0.167847
69
0.167837
105
0.167827
57
0.167816
73
0.167806
80
0.167796
65
0.167786
155
0.167776
126
0.167765
31
0.167755
127
0.167745
0
0.167735
6
0.167724
158
0.167714
57
0.167704
106
0.167694
119
0.167684
134
0.167673
114
0.167663
94
0.167653
96
0.167643
133
0.167633
59
0.167622
66
0.167612
107
0.167602
65
0.167592
56
0.167582
105
0.167571
109
0.167561
122
0.167551
70
0.167541
135
0.167531
107
0.167521
130
0.16751
88
0.1675
96
0.16749
102
0.16748
129
0.16747
160
0.167459
109
0.167449
130
0.167439
99
0.167429
127
0.167419
162
0.167409
8
0.167398
175
0.167388
34
0.167378
30
0.167368
117
0.167358
146
0.167348
58
0.167337
106
0.167327
104
0.167317
38
0.167307
95
0.167297
73
0.167287
82
0.167276
127
0.167266
73
0.167256
142
0.167246
56
0.167236
130
0.167226
102
0.167216
177
0.167205
69
0.167195
61
0.167185
71
0.167175
150
0.167165
145
0.167155
143
0.167144
117
0.167134
142
0.167124
113
0.167114
114
0.167104
143
0.167094
95
0.167084
128
0.167074
131
0.167063
180
0.167053
127
0.167043
165
0.167033
159
0.167023
137
0.167013
194
0.167003
81
0.166992
97
0.166982
146
0.166972
137
0.166962
138
0.166952
53
0.166942
87
0.166932
118
0.166922
83
0.166911
106
0.166901
139
0.166891
157
0.166881
129
0.166871
144
0.166861
200
0.166851
190
0.166841
138
0.166831
150
0.16682
131
0.16681
74
0.1668
228
0.16679
220
0.16678
214
0.16677
143
0.16676
155
0.16675
200
0.16674
273
0.16673
237
0.166719
252
0.166709
261
0.166699
262
0.166689
291
0.166679
282
0.166669
300
0.166659
329
0.166649
304
0.166639
360
0.166629
386
0.166619
416
0.166609
429
0.166598
415
0.166588
478
0.166578
512
0.166568
542
0.166558
612
0.166548
637
0.166538
632
0.166528
708
0.166518
717
0.166508
797
0.166498
864
0.166488
872
0.166478
953
0.166467
993
0.166457
1011
0.166447
1101
0.166437
1235
0.166427
1154
0.166417
1241
0.166407
1474
0.166397
1452
0.166387
1544
0.166377
1526
0.166367
1694
0.166357
1637
0.166347
1686
0.166337
1840
0.166327
1831
0.166317
1921
0.166307
1881
0.166297
1911
0.166286
1983
0.166276
2136
0.166266
2020
0.166256
1996
0.166246
2055
0.166236
2082
0.166226
1953
0.166216
2101
0.166206
2106
0.166196
1976
0.166186
1857
0.166176
1826
0.166166
1712
0.166156
1885
0.166146
1787
0.166136
1640
0.166126
1683
0.166116
1687
0.166106
1612
0.166096
1472
0.166086
1404
0.166076
1274
0.166066
1353
0.166056
1271
0.166046
1167
0.166036
1132
0.166026
1049
0.166016
1012
0.166006
980
0.165996
918
0.165986
859
0.165976
894
0.165966
811
0.165956
824
0.165946
788
0.165936
687
0.165926
662
0.165916
675
0.165906
620
0.165896
529
0.165886
618
0.165876
563
0.165866
492
0.165856
494
0.165846
456
0.165836
432
0.165826
432
0.165816
421
0.165806
363
0.165796
458
0.165786
243
0.165776
277
0.165766
418
0.165756
361
0.165746
370
0.165736
306
0.165726
218
0.165716
257
0.165706
239
0.165696
271
0.165686
235
0.165676
234
0.165666
160
0.165656
145
0.165646
180
0.165636
143
0.165626
174
0.165616
220
0.165606
211
0.165596
168
0.165586
150
0.165576
156
0.165566
132
0.165556
125
0.165546
192
0.165536
89
0.165526
96
0.165516
196
0.165506
148
0.165496
193
0.165486
148
0.165476
93
0.165467
202
0.165457
127
0.165447
170
0.165437
129
0.165427
192
0.165417
184
0.165407
146
0.165397
143
0.165387
158
0.165377
73
0.165367
168
0.165357
62
0.165347
96
0.165337
226
0.165327
154
0.165317
109
0.165307
181
0.165297
57
0.165288
90
0.165278
181
0.165268
104
0.165258
92
0.165248
166
0.165238
111
0.165228
131
0.165218
12
0.165208
54
0.165198
96
0.165188
188
0.165178
137
0.165168
92
0.165159
138
0.165149
110
0.165139
157
0.165129
141
0.165119
150
0.165109
108
0.165099
127
0.165089
104
0.165079
108
0.165069
122
0.165059
166
0.165049
98
0.16504
134
0.16503
65
0.16502
131
0.16501
154
0.165
180
0.16499
80
0.16498
80
0.16497
139
0.16496
178
0.16495
123
0.164941
38
0.164931
253
0.164921
65
0.164911
105
0.164901
80
0.164891
134
0.164881
172
0.164871
65
0.164861
94
0.164852
99
0.164842
206
0.164832
134
0.164822
86
0.164812
170
0.164802
108
0.164792
166
0.164782
104
0.164773
154
0.164763
150
0.164753
152
0.164743
84
0.164733
149
0.164723
55
0.164713
34
0.164703
206
0.164694
201
0.164684
117
0.164674
77
0.164664
95
0.164654
157
0.164644
134
0.164634
166
0.164625
122
0.164615
84
0.164605
113
0.164595
189
0.164585
113
0.164575
154
0.164565
162
0.164556
115
0.164546
138
0.164536
162
0.164526
126
0.164516
168
0.164506
127
0.164496
107
0.164487
138
0.164477
109
0.164467
168
0.164457
155
0.164447
37
0.164437
106
0.164428
79
0.164418
210
0.164408
155
0.164398
81
0.164388
68
0.164378
172
0.164369
66
0.164359
83
0.164349
60
0.164339
100
0.164329
173
0.164319
121
0.16431
83
0.1643
155
0.16429
126
0.16428
114
0.16427
66
0.164261
116
0.164251
90
0.164241
33
0.164231
120
0.164221
73
0.164211
100
0.164202
197
0.164192
93
0.164182
129
0.164172
145
0.164162
150
0.164153
89
0.164143
90 toa
Si3N4/Si (10min conc HF:MeOH 2:50 cc) metal blue
2003
5
10
14
52
34
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.02
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
112
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
72
5841
0.107169
0.108964
237
0.108964
209
0.108959
225
0.108955
230
0.10895
238
0.108945
238
0.108941
228
0.108936
218
0.108932
188
0.108927
210
0.108923
213
0.108918
228
0.108914
219
0.108909
221
0.108904
214
0.1089
199
0.108895
223
0.108891
182
0.108886
197
0.108882
202
0.108877
208
0.108873
175
0.108868
190
0.108863
210
0.108859
188
0.108854
191
0.10885
154
0.108845
192
0.108841
189
0.108836
185
0.108832
176
0.108827
207
0.108823
162
0.108818
178
0.108813
186
0.108809
177
0.108804
194
0.1088
170
0.108795
164
0.108791
163
0.108786
174
0.108782
164
0.108777
142
0.108773
159
0.108768
195
0.108763
181
0.108759
160
0.108754
166
0.10875
165
0.108745
157
0.108741
167
0.108736
187
0.108732
142
0.108727
175
0.108723
150
0.108718
155
0.108714
160
0.108709
181
0.108704
162
0.1087
164
0.108695
177
0.108691
181
0.108686
151
0.108682
154
0.108677
159
0.108673
158
0.108668
164
0.108664
164
0.108659
159
0.108655
159
0.10865
167
0.108645
163
0.108641
130
0.108636
159
0.108632
158
0.108627
161
0.108623
146
0.108618
175
0.108614
147
0.108609
169
0.108605
155
0.1086
165
0.108596
170
0.108591
152
0.108587
149
0.108582
146
0.108578
135
0.108573
164
0.108568
133
0.108564
152
0.108559
156
0.108555
165
0.10855
166
0.108546
177
0.108541
142
0.108537
176
0.108532
186
0.108528
166
0.108523
158
0.108519
187
0.108514
181
0.10851
181
0.108505
200
0.108501
177
0.108496
201
0.108492
209
0.108487
214
0.108483
226
0.108478
241
0.108473
236
0.108469
240
0.108464
294
0.10846
268
0.108455
276
0.108451
303
0.108446
342
0.108442
334
0.108437
406
0.108433
455
0.108428
412
0.108424
456
0.108419
509
0.108415
603
0.10841
615
0.108406
680
0.108401
773
0.108397
784
0.108392
905
0.108388
975
0.108383
1066
0.108379
1215
0.108374
1267
0.10837
1384
0.108365
1485
0.108361
1666
0.108356
1939
0.108352
1994
0.108347
2200
0.108343
2409
0.108338
2552
0.108334
2790
0.108329
3007
0.108325
3200
0.10832
3425
0.108315
3683
0.108311
3842
0.108306
4086
0.108302
4306
0.108297
4407
0.108293
4754
0.108288
4836
0.108284
5018
0.108279
5223
0.108275
5398
0.10827
5398
0.108266
5524
0.108261
5715
0.108257
5787
0.108252
5690
0.108248
5841
0.108243
5817
0.108239
5738
0.108234
5615
0.10823
5538
0.108225
5463
0.108221
5392
0.108216
5233
0.108212
5053
0.108207
4736
0.108203
4688
0.108198
4415
0.108194
4237
0.108189
4001
0.108185
3756
0.10818
3397
0.108176
3287
0.108171
3032
0.108167
2886
0.108162
2674
0.108158
2488
0.108153
2310
0.108149
2127
0.108144
1946
0.10814
1824
0.108135
1664
0.108131
1563
0.108126
1395
0.108122
1355
0.108118
1195
0.108113
1138
0.108109
1012
0.108104
1020
0.1081
853
0.108095
849
0.108091
784
0.108086
688
0.108082
687
0.108077
594
0.108073
592
0.108068
557
0.108064
528
0.108059
488
0.108055
447
0.10805
430
0.108046
397
0.108041
407
0.108037
407
0.108032
326
0.108028
339
0.108023
328
0.108019
318
0.108014
307
0.10801
287
0.108005
296
0.108001
285
0.107996
332
0.107992
280
0.107987
255
0.107983
273
0.107978
284
0.107974
269
0.107969
253
0.107965
265
0.107961
271
0.107956
297
0.107952
291
0.107947
309
0.107943
341
0.107938
301
0.107934
321
0.107929
322
0.107925
318
0.10792
306
0.107916
295
0.107911
319
0.107907
313
0.107902
318
0.107898
314
0.107893
347
0.107889
360
0.107884
324
0.10788
317
0.107875
302
0.107871
268
0.107867
236
0.107862
224
0.107858
254
0.107853
213
0.107849
212
0.107844
188
0.10784
192
0.107835
159
0.107831
169
0.107826
173
0.107822
161
0.107817
162
0.107813
156
0.107808
137
0.107804
146
0.107799
146
0.107795
169
0.107791
122
0.107786
147
0.107782
125
0.107777
144
0.107773
132
0.107768
110
0.107764
126
0.107759
117
0.107755
101
0.10775
142
0.107746
117
0.107741
143
0.107737
122
0.107732
125
0.107728
117
0.107724
121
0.107719
98
0.107715
121
0.10771
110
0.107706
126
0.107701
103
0.107697
110
0.107692
128
0.107688
109
0.107683
105
0.107679
116
0.107675
122
0.10767
102
0.107666
97
0.107661
102
0.107657
87
0.107652
98
0.107648
103
0.107643
106
0.107639
115
0.107634
108
0.10763
98
0.107625
101
0.107621
102
0.107617
96
0.107612
109
0.107608
91
0.107603
116
0.107599
110
0.107594
106
0.10759
90
0.107585
104
0.107581
99
0.107577
94
0.107572
108
0.107568
111
0.107563
93
0.107559
108
0.107554
98
0.10755
72
0.107545
93
0.107541
91
0.107536
80
0.107532
100
0.107528
95
0.107523
106
0.107519
99
0.107514
90
0.10751
124
0.107505
99
0.107501
106
0.107496
109
0.107492
100
0.107488
105
0.107483
108
0.107479
101
0.107474
114
0.10747
111
0.107465
85
0.107461
125
0.107456
135
0.107452
92
0.107448
104
0.107443
89
0.107439
111
0.107434
100
0.10743
113
0.107425
109
0.107421
91
0.107417
109
0.107412
108
0.107408
93
0.107403
104
0.107399
94
0.107394
98
0.10739
105
0.107385
115
0.107381
95
0.107377
125
0.107372
104
0.107368
121
0.107363
104
0.107359
98
0.107354
109
0.10735
93
0.107346
84
0.107341
110
0.107337
108
0.107332
101
0.107328
82
0.107323
103
0.107319
101
0.107315
105
0.10731
121
0.107306
103
0.107301
100
0.107297
93
0.107292
111
0.107288
103
0.107284
80
0.107279
93
0.107275
105
0.10727
113
0.107266
95
0.107261
104
0.107257
112
0.107253
101
0.107248
98
0.107244
108
0.107239
108
0.107235
91
0.10723
94
0.107226
98
0.107222
118
0.107217
124
0.107213
86
0.107208
102
0.107204
102
0.107199
112
0.107195
104
0.107191
83
0.107186
96
0.107182
120
0.107177
105
0.107173
103
0.107169
90 toa
Si3N4/Si (10min conc HF:MeOH 2:50 cc) metal blue
2003
5
10
14
52
34
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.62
1
0
0
1000
2000
55
0
data_6
data_6
-1
Binding energy
eV
112
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
5
857
0.14341
0.145497
37
0.145497
33
0.145492
43
0.145486
36
0.145481
42
0.145476
40
0.14547
39
0.145465
28
0.14546
48
0.145455
25
0.145449
30
0.145444
28
0.145439
30
0.145433
37
0.145428
20
0.145423
28
0.145418
26
0.145412
28
0.145407
35
0.145402
41
0.145396
35
0.145391
31
0.145386
21
0.145381
34
0.145375
25
0.14537
31
0.145365
24
0.145359
38
0.145354
26
0.145349
33
0.145344
18
0.145338
21
0.145333
23
0.145328
24
0.145322
35
0.145317
20
0.145312
28
0.145307
16
0.145301
28
0.145296
25
0.145291
29
0.145285
20
0.14528
23
0.145275
23
0.14527
24
0.145264
24
0.145259
21
0.145254
22
0.145249
19
0.145243
27
0.145238
29
0.145233
25
0.145227
25
0.145222
18
0.145217
22
0.145212
19
0.145206
21
0.145201
25
0.145196
31
0.145191
15
0.145185
21
0.14518
18
0.145175
18
0.145169
15
0.145164
27
0.145159
20
0.145154
23
0.145148
18
0.145143
17
0.145138
25
0.145133
20
0.145127
25
0.145122
21
0.145117
18
0.145112
20
0.145106
15
0.145101
18
0.145096
20
0.145091
18
0.145085
26
0.14508
18
0.145075
15
0.145069
16
0.145064
24
0.145059
17
0.145054
14
0.145048
28
0.145043
26
0.145038
24
0.145033
26
0.145027
22
0.145022
31
0.145017
28
0.145012
23
0.145006
17
0.145001
26
0.144996
26
0.144991
24
0.144985
29
0.14498
24
0.144975
25
0.14497
23
0.144964
30
0.144959
31
0.144954
32
0.144949
25
0.144943
35
0.144938
24
0.144933
37
0.144928
31
0.144922
32
0.144917
41
0.144912
50
0.144907
50
0.144901
48
0.144896
65
0.144891
75
0.144886
76
0.14488
60
0.144875
76
0.14487
91
0.144865
107
0.144859
116
0.144854
137
0.144849
127
0.144844
144
0.144838
162
0.144833
163
0.144828
185
0.144823
226
0.144817
231
0.144812
305
0.144807
304
0.144802
321
0.144796
356
0.144791
352
0.144786
420
0.144781
454
0.144775
479
0.14477
504
0.144765
563
0.14476
548
0.144754
606
0.144749
655
0.144744
668
0.144739
702
0.144734
691
0.144728
742
0.144723
744
0.144718
792
0.144713
816
0.144707
844
0.144702
801
0.144697
835
0.144692
809
0.144686
814
0.144681
853
0.144676
818
0.144671
809
0.144665
857
0.14466
839
0.144655
771
0.14465
727
0.144645
687
0.144639
653
0.144634
710
0.144629
635
0.144624
540
0.144618
539
0.144613
553
0.144608
497
0.144603
451
0.144597
459
0.144592
444
0.144587
391
0.144582
364
0.144577
345
0.144571
290
0.144566
290
0.144561
265
0.144556
222
0.14455
225
0.144545
203
0.14454
182
0.144535
170
0.14453
176
0.144524
172
0.144519
128
0.144514
115
0.144509
106
0.144503
116
0.144498
109
0.144493
108
0.144488
105
0.144483
76
0.144477
76
0.144472
77
0.144467
85
0.144462
69
0.144456
74
0.144451
78
0.144446
61
0.144441
50
0.144436
71
0.14443
49
0.144425
54
0.14442
66
0.144415
48
0.14441
63
0.144404
68
0.144399
58
0.144394
51
0.144389
45
0.144383
46
0.144378
47
0.144373
48
0.144368
35
0.144363
54
0.144357
48
0.144352
43
0.144347
46
0.144342
39
0.144337
45
0.144331
65
0.144326
55
0.144321
66
0.144316
32
0.144311
52
0.144305
62
0.1443
55
0.144295
50
0.14429
55
0.144285
42
0.144279
50
0.144274
48
0.144269
41
0.144264
62
0.144259
60
0.144253
46
0.144248
47
0.144243
47
0.144238
45
0.144233
46
0.144227
36
0.144222
30
0.144217
34
0.144212
31
0.144207
28
0.144201
18
0.144196
20
0.144191
30
0.144186
24
0.144181
21
0.144175
27
0.14417
19
0.144165
10
0.14416
15
0.144155
22
0.144149
34
0.144144
28
0.144139
23
0.144134
25
0.144129
25
0.144123
19
0.144118
26
0.144113
23
0.144108
19
0.144103
22
0.144097
21
0.144092
11
0.144087
11
0.144082
13
0.144077
16
0.144071
19
0.144066
16
0.144061
21
0.144056
15
0.144051
14
0.144046
20
0.14404
20
0.144035
15
0.14403
12
0.144025
18
0.14402
25
0.144014
18
0.144009
27
0.144004
11
0.143999
16
0.143994
24
0.143988
13
0.143983
22
0.143978
11
0.143973
25
0.143968
16
0.143963
21
0.143957
12
0.143952
16
0.143947
19
0.143942
25
0.143937
15
0.143931
18
0.143926
22
0.143921
21
0.143916
11
0.143911
11
0.143906
16
0.1439
22
0.143895
17
0.14389
19
0.143885
18
0.14388
13
0.143875
19
0.143869
25
0.143864
16
0.143859
20
0.143854
14
0.143849
21
0.143843
20
0.143838
16
0.143833
17
0.143828
19
0.143823
19
0.143818
12
0.143812
17
0.143807
15
0.143802
20
0.143797
11
0.143792
11
0.143787
11
0.143781
22
0.143776
12
0.143771
10
0.143766
14
0.143761
15
0.143756
19
0.14375
11
0.143745
16
0.14374
12
0.143735
18
0.14373
20
0.143725
18
0.143719
23
0.143714
14
0.143709
13
0.143704
12
0.143699
18
0.143694
11
0.143688
14
0.143683
19
0.143678
18
0.143673
15
0.143668
18
0.143663
17
0.143658
17
0.143652
14
0.143647
13
0.143642
23
0.143637
19
0.143632
21
0.143627
12
0.143621
23
0.143616
22
0.143611
20
0.143606
12
0.143601
18
0.143596
17
0.14359
12
0.143585
13
0.14358
15
0.143575
21
0.14357
7
0.143565
16
0.14356
16
0.143554
18
0.143549
14
0.143544
16
0.143539
19
0.143534
19
0.143529
12
0.143524
10
0.143518
5
0.143513
14
0.143508
11
0.143503
20
0.143498
17
0.143493
14
0.143487
16
0.143482
23
0.143477
22
0.143472
20
0.143467
11
0.143462
13
0.143457
12
0.143451
15
0.143446
18
0.143441
20
0.143436
18
0.143431
15
0.143426
11
0.143421
13
0.143415
12
0.14341
90 toa
Si3N4/Si (10min conc HF:MeOH 2:50 cc) metal blue
2003
5
10
14
52
35
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.02
1
0
0
1000
2000
55
0
data_7
data_7
-1
Binding energy
eV
410
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
721
14737
0.141296
0.144318
1180
0.144318
1197
0.144311
1229
0.144303
1200
0.144295
1166
0.144288
1242
0.14428
1199
0.144272
1174
0.144265
1093
0.144257
1185
0.144249
1085
0.144241
1122
0.144234
1187
0.144226
1176
0.144218
1186
0.144211
1149
0.144203
1106
0.144195
1180
0.144188
1150
0.14418
1137
0.144172
1155
0.144164
1136
0.144157
1178
0.144149
1126
0.144141
1159
0.144134
1122
0.144126
1220
0.144118
1127
0.144111
1057
0.144103
1108
0.144095
1094
0.144088
1051
0.14408
1086
0.144072
1074
0.144065
1058
0.144057
1077
0.144049
1096
0.144041
1074
0.144034
1055
0.144026
1100
0.144018
1094
0.144011
1116
0.144003
1066
0.143995
1074
0.143988
1008
0.14398
1075
0.143972
1022
0.143965
1002
0.143957
1045
0.143949
1015
0.143942
1002
0.143934
1026
0.143926
1003
0.143919
1051
0.143911
994
0.143903
1012
0.143896
993
0.143888
979
0.14388
991
0.143873
978
0.143865
946
0.143857
1000
0.14385
1032
0.143842
935
0.143834
1038
0.143827
1011
0.143819
953
0.143811
944
0.143804
954
0.143796
975
0.143788
968
0.143781
948
0.143773
954
0.143766
945
0.143758
931
0.14375
988
0.143743
1009
0.143735
934
0.143727
933
0.14372
919
0.143712
933
0.143704
895
0.143697
958
0.143689
958
0.143681
906
0.143674
855
0.143666
927
0.143658
992
0.143651
937
0.143643
954
0.143636
931
0.143628
898
0.14362
934
0.143613
930
0.143605
940
0.143597
835
0.14359
915
0.143582
932
0.143574
898
0.143567
847
0.143559
861
0.143552
923
0.143544
926
0.143536
939
0.143529
920
0.143521
887
0.143513
826
0.143506
904
0.143498
956
0.14349
913
0.143483
863
0.143475
934
0.143468
907
0.14346
905
0.143452
900
0.143445
872
0.143437
886
0.14343
903
0.143422
885
0.143414
873
0.143407
894
0.143399
916
0.143391
856
0.143384
878
0.143376
848
0.143369
843
0.143361
929
0.143353
898
0.143346
895
0.143338
913
0.143331
925
0.143323
928
0.143315
915
0.143308
942
0.1433
954
0.143292
876
0.143285
984
0.143277
953
0.14327
952
0.143262
1009
0.143254
921
0.143247
984
0.143239
963
0.143232
956
0.143224
998
0.143216
996
0.143209
1025
0.143201
1010
0.143194
1052
0.143186
1080
0.143178
1065
0.143171
1048
0.143163
1088
0.143156
1120
0.143148
1124
0.143141
1166
0.143133
1203
0.143125
1175
0.143118
1214
0.14311
1260
0.143103
1306
0.143095
1298
0.143087
1296
0.14308
1386
0.143072
1447
0.143065
1523
0.143057
1532
0.143049
1587
0.143042
1714
0.143034
1811
0.143027
1972
0.143019
2043
0.143012
2146
0.143004
2352
0.142996
2448
0.142989
2706
0.142981
2847
0.142974
3172
0.142966
3436
0.142959
3623
0.142951
3980
0.142943
4416
0.142936
4819
0.142928
5151
0.142921
5705
0.142913
6187
0.142906
6708
0.142898
7229
0.14289
7964
0.142883
8374
0.142875
9078
0.142868
9541
0.14286
10121
0.142853
10599
0.142845
11413
0.142838
11964
0.14283
12497
0.142822
13162
0.142815
13276
0.142807
13805
0.1428
14163
0.142792
14344
0.142785
14564
0.142777
14728
0.142769
14680
0.142762
14737
0.142754
14541
0.142747
14549
0.142739
13990
0.142732
13913
0.142724
13690
0.142717
13149
0.142709
12455
0.142702
11999
0.142694
11723
0.142686
10745
0.142679
10531
0.142671
9895
0.142664
9244
0.142656
8665
0.142649
8284
0.142641
7676
0.142634
7137
0.142626
6714
0.142619
6223
0.142611
5749
0.142603
5425
0.142596
4930
0.142588
4705
0.142581
4326
0.142573
4083
0.142566
3765
0.142558
3670
0.142551
3341
0.142543
3184
0.142536
3030
0.142528
2820
0.142521
2670
0.142513
2548
0.142506
2392
0.142498
2225
0.142491
2125
0.142483
2121
0.142475
1940
0.142468
1907
0.14246
1812
0.142453
1749
0.142445
1752
0.142438
1640
0.14243
1593
0.142423
1532
0.142415
1433
0.142408
1419
0.1424
1496
0.142393
1391
0.142385
1358
0.142378
1327
0.14237
1254
0.142363
1219
0.142355
1194
0.142348
1192
0.14234
1251
0.142333
1205
0.142325
1105
0.142318
1164
0.14231
1134
0.142303
1109
0.142295
1096
0.142288
1040
0.14228
1042
0.142273
1066
0.142265
975
0.142258
1006
0.14225
1005
0.142243
981
0.142235
962
0.142228
1010
0.14222
944
0.142213
949
0.142205
982
0.142198
957
0.14219
950
0.142183
899
0.142175
943
0.142168
923
0.14216
851
0.142153
893
0.142145
931
0.142138
888
0.14213
889
0.142123
902
0.142115
873
0.142108
880
0.1421
875
0.142093
902
0.142085
926
0.142078
853
0.14207
871
0.142063
861
0.142055
841
0.142048
814
0.14204
837
0.142033
848
0.142025
835
0.142018
833
0.14201
842
0.142003
829
0.141995
819
0.141988
802
0.14198
841
0.141973
872
0.141965
831
0.141958
809
0.141951
827
0.141943
853
0.141936
840
0.141928
761
0.141921
859
0.141913
806
0.141906
778
0.141898
763
0.141891
832
0.141883
760
0.141876
764
0.141868
847
0.141861
781
0.141853
836
0.141846
763
0.141839
731
0.141831
816
0.141824
758
0.141816
835
0.141809
783
0.141801
816
0.141794
754
0.141786
744
0.141779
794
0.141771
857
0.141764
785
0.141756
803
0.141749
774
0.141742
806
0.141734
752
0.141727
778
0.141719
817
0.141712
769
0.141704
776
0.141697
787
0.141689
789
0.141682
786
0.141675
807
0.141667
797
0.14166
740
0.141652
822
0.141645
799
0.141637
782
0.14163
800
0.141622
744
0.141615
790
0.141608
782
0.1416
792
0.141593
807
0.141585
853
0.141578
723
0.14157
786
0.141563
773
0.141555
726
0.141548
758
0.141541
760
0.141533
777
0.141526
839
0.141518
798
0.141511
721
0.141503
790
0.141496
833
0.141489
803
0.141481
796
0.141474
767
0.141466
737
0.141459
789
0.141451
768
0.141444
799
0.141437
817
0.141429
817
0.141422
756
0.141414
792
0.141407
787
0.1414
777
0.141392
779
0.141385
814
0.141377
803
0.14137
758
0.141362
754
0.141355
803
0.141348
741
0.14134
790
0.141333
775
0.141325
745
0.141318
727
0.141311
758
0.141303
776
0.141296
90 toa
Si3N4/Si (10min conc HF:MeOH 2:50 cc) metal blue
2003
5
10
14
52
35
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.62
1
0
0
1000
2000
55
0
data_8
data_8
-1
Binding energy
eV
410
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
106
2438
0.182382
0.18577
205
0.18577
191
0.185761
208
0.185753
176
0.185744
205
0.185736
212
0.185727
200
0.185718
202
0.18571
187
0.185701
197
0.185692
219
0.185684
215
0.185675
169
0.185667
168
0.185658
169
0.185649
190
0.185641
201
0.185632
212
0.185623
183
0.185615
180
0.185606
189
0.185598
173
0.185589
194
0.18558
157
0.185572
217
0.185563
168
0.185555
196
0.185546
164
0.185537
205
0.185529
164
0.18552
193
0.185512
168
0.185503
204
0.185494
196
0.185486
192
0.185477
167
0.185469
170
0.18546
190
0.185451
156
0.185443
190
0.185434
180
0.185426
179
0.185417
204
0.185408
173
0.1854
161
0.185391
157
0.185383
174
0.185374
153
0.185365
175
0.185357
180
0.185348
150
0.18534
168
0.185331
155
0.185322
182
0.185314
176
0.185305
165
0.185297
146
0.185288
153
0.18528
149
0.185271
155
0.185262
151
0.185254
173
0.185245
157
0.185237
165
0.185228
148
0.185219
148
0.185211
148
0.185202
157
0.185194
155
0.185185
137
0.185177
150
0.185168
142
0.185159
144
0.185151
127
0.185142
171
0.185134
149
0.185125
154
0.185117
158
0.185108
159
0.185099
153
0.185091
126
0.185082
153
0.185074
142
0.185065
151
0.185057
157
0.185048
133
0.18504
144
0.185031
151
0.185022
155
0.185014
143
0.185005
151
0.184997
130
0.184988
139
0.18498
161
0.184971
131
0.184963
148
0.184954
143
0.184945
129
0.184937
157
0.184928
143
0.18492
163
0.184911
155
0.184903
150
0.184894
146
0.184886
142
0.184877
153
0.184869
128
0.18486
130
0.184851
143
0.184843
144
0.184834
132
0.184826
155
0.184817
155
0.184809
137
0.1848
134
0.184792
159
0.184783
156
0.184775
131
0.184766
148
0.184758
142
0.184749
130
0.18474
136
0.184732
141
0.184723
142
0.184715
129
0.184706
136
0.184698
150
0.184689
142
0.184681
153
0.184672
176
0.184664
149
0.184655
163
0.184647
156
0.184638
146
0.18463
146
0.184621
166
0.184613
150
0.184604
148
0.184596
147
0.184587
170
0.184578
153
0.18457
185
0.184561
157
0.184553
151
0.184544
173
0.184536
175
0.184527
191
0.184519
184
0.18451
175
0.184502
181
0.184493
169
0.184485
201
0.184476
182
0.184468
186
0.184459
185
0.184451
198
0.184442
192
0.184434
200
0.184425
224
0.184417
249
0.184408
244
0.1844
243
0.184391
250
0.184383
276
0.184374
256
0.184366
322
0.184357
304
0.184349
335
0.18434
380
0.184332
398
0.184323
439
0.184315
431
0.184306
485
0.184298
559
0.184289
538
0.184281
594
0.184272
657
0.184264
722
0.184255
807
0.184247
884
0.184238
966
0.18423
985
0.184221
1151
0.184213
1235
0.184204
1287
0.184196
1405
0.184188
1482
0.184179
1582
0.184171
1676
0.184162
1820
0.184154
1894
0.184145
2006
0.184137
2056
0.184128
2170
0.18412
2189
0.184111
2371
0.184103
2268
0.184094
2391
0.184086
2331
0.184077
2380
0.184069
2438
0.18406
2330
0.184052
2353
0.184043
2271
0.184035
2230
0.184026
2250
0.184018
2157
0.18401
2023
0.184001
2037
0.183993
1888
0.183984
1809
0.183976
1761
0.183967
1543
0.183959
1522
0.18395
1445
0.183942
1353
0.183933
1288
0.183925
1170
0.183917
1085
0.183908
978
0.1839
946
0.183891
881
0.183883
869
0.183874
795
0.183866
732
0.183857
622
0.183849
604
0.18384
573
0.183832
562
0.183824
538
0.183815
503
0.183807
441
0.183798
433
0.18379
423
0.183781
387
0.183773
373
0.183764
368
0.183756
319
0.183748
338
0.183739
341
0.183731
305
0.183722
286
0.183714
275
0.183705
271
0.183697
253
0.183688
259
0.18368
258
0.183672
269
0.183663
248
0.183655
260
0.183646
219
0.183638
224
0.183629
229
0.183621
217
0.183613
213
0.183604
215
0.183596
222
0.183587
182
0.183579
201
0.18357
190
0.183562
189
0.183554
175
0.183545
203
0.183537
202
0.183528
181
0.18352
171
0.183511
176
0.183503
170
0.183495
169
0.183486
158
0.183478
187
0.183469
140
0.183461
164
0.183453
157
0.183444
161
0.183436
164
0.183427
174
0.183419
149
0.183411
172
0.183402
163
0.183394
160
0.183385
135
0.183377
140
0.183368
143
0.18336
168
0.183352
135
0.183343
156
0.183335
145
0.183326
138
0.183318
122
0.18331
162
0.183301
158
0.183293
118
0.183284
138
0.183276
129
0.183268
138
0.183259
130
0.183251
143
0.183242
136
0.183234
146
0.183226
169
0.183217
115
0.183209
150
0.183201
123
0.183192
163
0.183184
135
0.183175
142
0.183167
137
0.183159
131
0.18315
142
0.183142
137
0.183133
146
0.183125
151
0.183117
135
0.183108
145
0.1831
144
0.183091
128
0.183083
133
0.183075
128
0.183066
125
0.183058
118
0.18305
135
0.183041
144
0.183033
119
0.183024
145
0.183016
145
0.183008
120
0.182999
148
0.182991
144
0.182983
121
0.182974
155
0.182966
136
0.182958
119
0.182949
141
0.182941
126
0.182932
130
0.182924
122
0.182916
140
0.182907
123
0.182899
110
0.182891
130
0.182882
145
0.182874
145
0.182866
143
0.182857
137
0.182849
119
0.18284
141
0.182832
120
0.182824
140
0.182815
150
0.182807
134
0.182799
125
0.18279
137
0.182782
139
0.182774
123
0.182765
119
0.182757
134
0.182749
125
0.18274
132
0.182732
127
0.182723
139
0.182715
113
0.182707
143
0.182698
126
0.18269
135
0.182682
106
0.182673
139
0.182665
122
0.182657
130
0.182648
152
0.18264
119
0.182632
117
0.182623
114
0.182615
122
0.182607
144
0.182598
121
0.18259
123
0.182582
113
0.182573
127
0.182565
116
0.182557
125
0.182548
125
0.18254
132
0.182532
108
0.182523
135
0.182515
138
0.182507
135
0.182498
116
0.18249
140
0.182482
116
0.182473
138
0.182465
120
0.182457
118
0.182448
136
0.18244
122
0.182432
142
0.182423
119
0.182415
141
0.182407
120
0.182399
144
0.18239
147
0.182382
end of experiment
